| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-55752-820-9 ISSN: 2162-2701 KITopen-ID: 1000079296 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Proceedings of the European Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO_Europe 2017, Germany, Munich, 25th - 29th June 2017 |
| Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
| Serie | Optics InfoBase Conference Papers ; F82-CLEO_Europe 2017 |
| Nachgewiesen in | Scopus |