A new PROFIBUS interface for vacuum sector gate valve controllers
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsdatum | 22.02.2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1748-0221 KITopen-ID: 1000079772 |
| Erschienen in | Journal of Instrumentation |
| Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
| Band | 12 |
| Heft | 2 |
| Seiten | Art. Nr.: C02066 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |