Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2017 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0022-3727, 0262-8171, 0508-3443, 1361-6463 KITopen-ID: 1000079799 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Journal of physics / D |
Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
Band | 50 |
Heft | 50 |
Seiten | Art.Nr.: 503002 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |