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Tailoring of surface plasmon resonances in TiN/(Al0.72Sc0.28)N multilayers by dielectric layer thickness variation

Garbrecht, Magnus; Hultman, Lars; Fawey, Mohammed H. 1; Sands, Timothy D.; Saha, Bivas
1 Institut für Nanotechnologie (INT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s10853-017-1837-4
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Zitationen: 22
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr 03.2018
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0022-2461, 1573-4803
KITopen-ID: 1000080364
HGF-Programm 49.02.01 (POF III, LK 02) INT-KNMF Characterisation Lab
Weitere HGF-Programme 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design
Erschienen in Journal of materials science
Verlag Springer
Band 53
Heft 6
Seiten 4001–4009
Nachgewiesen in Web of Science
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