Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 07.2018 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0167-9317, 1873-5568 KITopen-ID: 1000081360 |
HGF-Programm | 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems |
Erschienen in | Microelectronic engineering |
Verlag | Elsevier |
Band | 194 |
Seiten | 8-14 |
Bemerkung zur Veröffentlichung | https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0167931718300893 |
Schlagwörter | 2015-014-008269 HE |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |