| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 07.2018 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0167-9317, 1873-5568 KITopen-ID: 1000081360 |
| HGF-Programm | 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems |
| Erschienen in | Microelectronic engineering |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 194 |
| Seiten | 8-14 |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0167931718300893 |
| Schlagwörter | 2015-014-008269 HE |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus OpenAlex Dimensions |