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High throughput polymer micro replication quality assurance using 3D optical high-speed metrology

Scholz, S. ORCID iD icon; Calaon, M.; Tosello, G.; Hansen, H.; Prantl, M.; Dessors, S.; Müller, T. ORCID iD icon; Miller, N.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Automation und angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2016
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 1000081506
HGF-Programm 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems
Veranstaltung 16th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (2016), Nottingham, Vereinigtes Königreich, 30.05.2016 – 03.06.2016
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