High throughput polymer micro replication quality assurance using 3D optical high-speed metrology
Scholz, S.
; Calaon, M.; Tosello, G.; Hansen, H.; Prantl, M.; Dessors, S.; Müller, T.
; Miller, N.
; Calaon, M.; Tosello, G.; Hansen, H.; Prantl, M.; Dessors, S.; Müller, T.
; Miller, N.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Automation und angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000081506 |
| HGF-Programm | 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems |
| Veranstaltung | 16th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (2016), Nottingham, Vereinigtes Königreich, 30.05.2016 – 03.06.2016 |