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High throughput polymer micro replication quality assurance using 3D optical high-speed metrology

Scholz, S.; Calaon, M.; Tosello, G.; Hansen, H.; Prantl, M.; Dessors, S.; Müller, T.; Miller, N.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Automation und angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2016
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 1000081506
HGF-Programm 43.22.03; LK 01
Erschienen in 16th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Nottingham, GB, May 30 - June 3, 2016
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