Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2018 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2190-4286 urn:nbn:de:swb:90-820372 KITopen-ID: 1000082037 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Beilstein journal of nanotechnology |
Verlag | Beilstein-Institut |
Band | 9 |
Seiten | 953 |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |