| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2018 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2190-4286 urn:nbn:de:swb:90-820372 KITopen-ID: 1000082037 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Beilstein journal of nanotechnology |
| Verlag | Beilstein-Institut |
| Band | 9 |
| Seiten | 953 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Web of Science Dimensions Scopus |