Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsdatum | 06.04.2018 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 1000082230 |
HGF-Programm | 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems |
Weitere HGF-Programme | 49.01.02 (POF III, LK 02) IMT-KNMF Structuring Lab |
Erschienen in | Microsystem technologies |
Verlag | Springer |
Band | 24 |
Heft | 9 |
Seiten | 3893-3900 |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |