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Precision of evaluation methods in white light interferometry : Correlogram correlation method

Kiselev, Ilia; Kiselev, Egor I. 1; Drexel, Michael V.; Hauptmannl, Michael
1 Institut für Theorie der Kondensierten Materie (TKM), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.measurement.2018.03.060
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Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Theorie der Kondensierten Materie (TKM)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr 07.2018
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0263-2241, 1873-412X
KITopen-ID: 1000082237
Erschienen in Measurement
Verlag Elsevier
Band 123
Seiten 125-128
Vorab online veröffentlicht am 26.03.2018
Nachgewiesen in Dimensions
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