| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsjahr | 2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000082666 |
| HGF-Programm | 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems |
| Veranstaltung | The 61st International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication, Orlando, Florida, USA, 30th May - 2nd June 2017 |