Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Poster |
Publikationsjahr | 2017 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000082666 |
HGF-Programm | 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems |
Veranstaltung | The 61st International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication, Orlando, Florida, USA, 30th May - 2nd June 2017 |