Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Festkörperphysik (IFP) Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 07.2018 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0143-0807, 1361-6404 KITopen-ID: 1000082996 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | European journal of physics |
Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
Band | 39 |
Heft | 4 |
Seiten | 045303 |
Vorab online veröffentlicht am | 10.05.2018 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |