| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2018 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2469-9926, 2469-9934 KITopen-ID: 1000083283 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Physical review / A |
| Verlag | American Physical Society (APS) |
| Band | 97 |
| Heft | 5 |
| Seiten | Art. Nr.: 053810 |
| Vorab online veröffentlicht am | 08.05.2018 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Web of Science Scopus Dimensions |