Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2018 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2160-3308 urn:nbn:de:swb:90-833425 KITopen-ID: 1000083342 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Physical review / X |
Verlag | American Physical Society (APS) |
Band | 8 |
Heft | 2 |
Seiten | Article no 021032 |
Vorab online veröffentlicht am | 04.05.2018 |
Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |