Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2018 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-5386-4782-0 ISSN: 1084-6999 KITopen-ID: 1000083791 |
HGF-Programm | 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems |
Erschienen in | 2018 IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) : 21-25 Jan. 2018 / The 31st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2018, Belfast, Northern Ireland, 21-25 January 2018 |
Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
Seiten | 1213-1216 |
Serie | Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) ; 2018-January |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |