| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2018 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-5090-5868-6 KITopen-ID: 1000083796 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | 2017 16th International Superconductive Electronics Conference (ISEC) : Sorrento (Napoli), Italy, June 12-16, 2017. Ed.: C. Roberto |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 1-3 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Dimensions Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |