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In situ and real-time monitoring of structure formation during non-reactive sputter deposition of lanthanum and reactive sputter deposition of lanthanum nitride

Krause, Bärbel; Kuznetsov, Dmitry S.; Yakshin, Andrey E.; Ibrahimkutty, Shyjumon; Baumbach, Tilo; Bijkerk, Fred

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Verlagsausgabe §
DOI: 10.5445/IR/1000084155
Veröffentlicht am 07.09.2018
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS)
Laboratorium für Applikationen der Synchrotronstrahlung (LAS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr 08.2018
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1600-5767
urn:nbn:de:swb:90-841557
KITopen-ID: 1000084155
HGF-Programm 56.03.20 (POF III, LK 01) Nanoscience a.Material f.Inform.Technol.
Erschienen in Journal of applied crystallography
Verlag International Union of Crystallography
Band 51
Heft 4
Seiten 1013-1020
Vorab online veröffentlicht am 28.06.2018
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