| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2018 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-943580-42-2 KITopen-ID: 1000084460 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | CLEO: Science and Innovations, San Jose, California, 2018 |
| Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
| Seiten | SM4O.5 |
| Nachgewiesen in | Scopus OpenAlex Dimensions |