Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2018 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-943580-42-2 KITopen-ID: 1000084460 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | CLEO: Science and Innovations, San Jose, California, 2018 |
Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
Seiten | SM4O.5 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |