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Glow discharge optical emission spectroscopy for accurate and well resolved analysis of coatings and thin films

Wilke, Marcus; Teichert, Gerd; Gemma, Ryota; Pundt, Astrid; Kirchheim, Reiner; Romanus, Henry; Schaaf, Peter


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.tsf.2011.07.058
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Zitationen: 38
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Zitationen: 41
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffkunde (IAM-WK)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr 12.2011
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0040-6090
KITopen-ID: 1000084737
Erschienen in Thin solid films
Verlag Elsevier
Band 520
Heft 5
Seiten 1660–1667
Nachgewiesen in Web of Science
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