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Thermo-mechanical behaviour of X-ray masks in micro system technology

Körner, Claudia; Seemann, Wolfgang



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Technische Mechanik (ITM)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1617-7061
KITopen-ID: 1000084748
Erschienen in Proceedings in applied mathematics and mechanics
Band 9
Heft 1
Seiten 371-372
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