Thermo-mechanical behaviour of X-ray masks in micro system technology
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technische Mechanik (ITM) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1617-7061 KITopen-ID: 1000084748 |
| Erschienen in | Proceedings in applied mathematics and mechanics |
| Verlag | Wiley-VCH Verlag |
| Band | 9 |
| Heft | 1 |
| Seiten | 371-372 |