Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2018 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2352-4316 KITopen-ID: 1000084953 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Extreme mechanics letters |
Verlag | Elsevier |
Band | 22 |
Seiten | 165-171 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |