| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2018 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2352-4316 KITopen-ID: 1000084953 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Extreme mechanics letters |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 22 |
| Seiten | 165-171 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Dimensions Web of Science Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |