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Optical deflection setup for stress measurements in thin films

Bicker, M.; Hülsen, Ulrich von; Geyer, U.; Laudahn, U.; Pundt, Astrid



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1063/1.1148721
Scopus
Zitationen: 27
Web of Science
Zitationen: 20
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffkunde (IAM-WK)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0034-6748, 1089-7623
KITopen-ID: 1000084964
Erschienen in Review of scientific instruments
Band 69
Heft 2
Seiten 460-462
Nachgewiesen in Scopus
Web of Science
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