Optical deflection setup for stress measurements in thin films
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Werkstoffkunde (IAM-WK) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0034-6748, 1089-7623 KITopen-ID: 1000084964 |
| Erschienen in | Review of scientific instruments |
| Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
| Band | 69 |
| Heft | 2 |
| Seiten | 460-462 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |