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Korrosionsbeständige mikroverfahrenstechnische Apparate durch CVD-Beschichtung mit Tantal = Corrosion‐Resistant Microprocess Apparatuses by Means of CVD Coating with Tantalum

Gietzelt, Thomas; Kraut, Manfred; Messerschmidt, Florian; Fürbeth, Wolfram; Dittmeyer, Roland



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2018
Sprache Deutsch
Identifikator ISSN: 0009-286X, 1522-2640
KITopen ID: 1000085784
HGF-Programm 37.03.02; LK 01
Erschienen in Chemie - Ingenieur - Technik
Band 90
Heft 8
Seiten 1037-1046
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