Korrosionsbeständige mikroverfahrenstechnische Apparate durch CVD-Beschichtung mit Tantal = Corrosion‐Resistant Microprocess Apparatuses by Means of CVD Coating with Tantalum
Gietzelt, Thomas
1; Kraut, Manfred
1; Messerschmidt, Florian 1; Fürbeth, Wolfram; Dittmeyer, Roland 1
1 Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Kraut, Manfred
1; Messerschmidt, Florian 1; Fürbeth, Wolfram; Dittmeyer, Roland 11 Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2018 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISSN: 0009-286X, 1522-2640 KITopen-ID: 1000085784 |
| HGF-Programm | 37.03.02 (POF III, LK 01) Components and Process Development |
| Erschienen in | Chemie - Ingenieur - Technik |
| Verlag | Wiley-VCH Verlag |
| Band | 90 |
| Heft | 8 |
| Seiten | 1037-1046 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |