Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2018 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1367-2630 urn:nbn:de:swb:90-858340 KITopen-ID: 1000085834 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | New journal of physics |
Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
Band | 20 |
Heft | 8 |
Seiten | 083034 |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Gefördert durch den KIT-Publikationsfonds |
Vorab online veröffentlicht am | 23.08.2018 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |