Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) Lichttechnisches Institut (LTI) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsmonat/-jahr | 09.2018 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-5106-2032-2 KITopen-ID: 1000086039 |
HGF-Programm | 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems |
Erschienen in | SPIE Nanoscience + Engineering - Nanoengineering: Fabrication, Properties, Optics, and Devices XV, San Diego, United States, USA,19–23 August 2018. Ed.: B. Panchapakesan |
Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
Seiten | 107300J-1-17 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |
Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |