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Comparing roll-to-roll and laser-assisted hot embossing for micro- and nanofabrication

Habermehl, Anne; Rakebrandt, Jan-Hendric; Brenner, Philipp; Huber, Robert; Mertens, Adrian; Guttmann, Markus; Winkler, Frank; Pfleging, Wilhelm; Eschenbaum, Carsten; Lemmer, Uli



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Lichttechnisches Institut (LTI)
Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2018
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-1-5106-2032-2
KITopen-ID: 1000086156
HGF-Programm 43.22.03 (POF III, LK 01)
Erschienen in Nanoengineering: Fabrication, Properties, Optics, and Devices XV, San Diego, CA, August, 19-23, 2018
Verlag SPIE, Bellingham, WA
Seiten 13
Schlagworte Proposal-ID: 2015-013-006422 (KNMF-LMP)
Nachgewiesen in Scopus
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