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Comparing roll-to-roll and laser-assisted hot embossing for micro- and nanofabrication

Habermehl, Anne 1; Rakebrandt, Jan-Hendric; Brenner, Philipp 1; Huber, Robert ORCID iD icon 1; Mertens, Adrian 1; Guttmann, Markus 2; Winkler, Frank 2; Pfleging, Wilhelm ORCID iD icon 3; Eschenbaum, Carsten 1,3; Lemmer, Uli 1,3
1 Lichttechnisches Institut (LTI), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
3 Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen)
Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP)
Lichttechnisches Institut (LTI)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsmonat/-jahr 09.2018
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-1-5106-2032-2
KITopen-ID: 1000086156
HGF-Programm 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems
Erschienen in Nanoengineering: Fabrication, Properties, Optics, and Devices XV, San Diego, CA, August, 19-23, 2018
Verlag Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE)
Seiten 13
Schlagwörter Proposal-ID: 2015-013-006422 (KNMF-LMP)
Nachgewiesen in Scopus
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