Comparing roll-to-roll and laser-assisted hot embossing for micro- and nanofabrication
Habermehl, Anne 1; Rakebrandt, Jan-Hendric; Brenner, Philipp 1; Huber, Robert
1; Mertens, Adrian 1; Guttmann, Markus
2; Winkler, Frank 2; Pfleging, Wilhelm
3; Eschenbaum, Carsten 1,3; Lemmer, Uli
1,3
1 Lichttechnisches Institut (LTI), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
3 Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Mertens, Adrian 1; Guttmann, Markus
2; Winkler, Frank 2; Pfleging, Wilhelm
3; Eschenbaum, Carsten 1,3; Lemmer, Uli
1,31 Lichttechnisches Institut (LTI), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
3 Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) Lichttechnisches Institut (LTI) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsmonat/-jahr | 09.2018 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-5106-2032-2 KITopen-ID: 1000086156 |
| HGF-Programm | 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems |
| Erschienen in | Nanoengineering: Fabrication, Properties, Optics, and Devices XV, San Diego, CA, August, 19-23, 2018 |
| Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
| Seiten | 13 |
| Schlagwörter | Proposal-ID: 2015-013-006422 (KNMF-LMP) |
| Nachgewiesen in | Dimensions OpenAlex Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |