Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) Lichttechnisches Institut (LTI) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2018 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2469-9950, 2469-9969 KITopen-ID: 1000086538 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Physical review / B |
Verlag | American Physical Society (APS) |
Band | 98 |
Heft | 7 |
Seiten | Article: 075141 |
Vorab online veröffentlicht am | 24.08.2018 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |
Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |