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Tunable Double Membrane MEMS Fabry-Pérot Interferometers for the Near-Infrared

Huber, C.; Krammer, C.; Stein, B.; Kalt, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Physik (APH)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2018
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-1-5090-6372-7
ISSN: 2160-5033
KITopen ID: 1000086604
Erschienen in 23rd International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, OMN 2018; Forum Rolex of the Rolex Learning Center, Campus of Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL)Lausanne; Switzerland; 29 July 2018 through 2 August 2018
Verlag IEEE, Piscataway (NJ)
Seiten Art. Nr.: 8454589
Serie International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics ; 2018-July
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