Surface-Anchored Metal–Organic Frameworks as Versatile Resists for Gas-Assisted E-Beam Lithography: Fabrication of Sub-10 Nanometer Structures
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Funktionelle Grenzflächen (IFG) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 04.2018 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1936-0851, 1936-086X KITopen-ID: 1000086738 |
| HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
| Erschienen in | ACS nano |
| Verlag | American Chemical Society (ACS) |
| Band | 12 |
| Heft | 4 |
| Seiten | 3825–3835 |
| Vorab online veröffentlicht am | 14.03.2018 |
| Schlagwörter | 2016-016-013849 SURMOF |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |