Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 12.2018 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2041-1723 urn:nbn:de:swb:90-874316 KITopen-ID: 1000087431 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Nature Communications |
Verlag | Nature Research |
Band | 9 |
Seiten | 4607 |
Vorab online veröffentlicht am | 02.11.2018 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |