Bonding of SU-8 films onto KMPR structures for microfluidic, air-suspended photonic and optofluidic applications
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Geowissenschaften (AGW) KIT-Zentrum Klima und Umwelt (ZKU) Lichttechnisches Institut (LTI) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1361-6439, 0960-1317 KITopen-ID: 1000087677 |
| Erschienen in | Journal of micromechanics and microengineering |
| Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
| Band | 26 |
| Heft | 5 |
| Seiten | Art.Nr.: 055001 |
| Schlagwörter | air-suspended structures, bonding of SU-8 onto KMPR, microfabrication, microfluidics, optofluidics, photonics |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Scopus Web of Science Dimensions |