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Bonding of SU-8 films onto KMPR structures for microfluidic, air-suspended photonic and optofluidic applications

Prokop, Christoph; Karnutsch, Christian; Schoenhardt, Steffen; Mahmud, Tanveer; Mitchell, Arnan


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/0960-1317/26/5/055001
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Zitationen: 14
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Geowissenschaften (AGW)
KIT-Zentrum Klima und Umwelt (ZKU)
Lichttechnisches Institut (LTI)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2016
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1361-6439, 0960-1317
KITopen-ID: 1000087677
Erschienen in Journal of micromechanics and microengineering
Verlag Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd)
Band 26
Heft 5
Seiten Art.Nr.: 055001
Schlagwörter air-suspended structures, bonding of SU-8 onto KMPR, microfabrication, microfluidics, optofluidics, photonics
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