Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2018 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0021-8979, 0148-6349, 1089-7550, 1520-8850, 2163-5102 KITopen-ID: 1000087868 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Journal of applied physics |
Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
Band | 124 |
Heft | 17 |
Seiten | Art. Nr.: 173102 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |