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Fabrication and replication of re-entrant structures by nanoimprint lithography methods

Kehagias, N.; Francone, A.; Guttmann, M.; Winkler, F.; Fernández, A.; Torres, C. M. S.



Seitenaufrufe: 281
seit 01.12.2018
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2018
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0734-211X, 1071-1023, 1520-8567, 2166-2746, 2166-2754, 2327-9877
KITopen-ID: 1000087872
HGF-Programm 43.22.03 (POF III, LK 01)
Erschienen in Journal of vacuum science & technology / B
Band 36
Heft 6
Seiten Art. Nr.: 06JF01
Nachgewiesen in Scopus
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