Fabrication and replication of re-entrant structures by nanoimprint lithography methods
Kehagias, N.; Francone, A.; Guttmann, M.
1; Winkler, F. 1; Fernández, A.; Torres, C. M. S.
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Winkler, F. 1; Fernández, A.; Torres, C. M. S.1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2018 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0734-211X, 1071-1023, 1520-8567, 2166-2746, 2166-2754, 2327-9877 KITopen-ID: 1000087872 |
| HGF-Programm | 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems |
| Erschienen in | Journal of vacuum science & technology / B |
| Verlag | American Vacuum Society |
| Band | 36 |
| Heft | 6 |
| Seiten | Art. Nr.: 06JF01 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |