KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Fabrication and replication of re-entrant structures by nanoimprint lithography methods

Kehagias, N.; Francone, A.; Guttmann, M.; Winkler, F.; Fernández, A.; Torres, C. M. S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2018
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0734-211X, 1071-1023, 1520-8567, 2166-2746, 2166-2754, 2327-9877
KITopen ID: 1000087872
HGF-Programm 43.22.03; LK 01
Erschienen in Journal of vacuum science & technology / B
Band 36
Heft 6
Seiten Art. Nr.: 06JF01
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page