Combining top-down bottom-up lithographic and galvanic manufacturing techniques for the generation of dynamic and reversible surfaces
Kehagias, N.; Lamprakou, Z.; Guttmann, M.
; Winkler, F.; Francone, A.; Fernandez, A.; Chamakos, N. T.; Papathanasiou, A. G.; Sotomayor Torres, C. M.
; Winkler, F.; Francone, A.; Fernandez, A.; Chamakos, N. T.; Papathanasiou, A. G.; Sotomayor Torres, C. M.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2018 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-8007-4789-4 KITopen-ID: 1000087981 |
| HGF-Programm | 49.01.02 (POF III, LK 02) IMT-KNMF Structuring Lab |
| Erschienen in | 7. GMM-Workshop : Mikro-Nano-Integration, Dortmund, Germany, 22. - 23. Oktober 2018 |
| Verlag | VDE Verlag |
| Seiten | 58-61 |
| Serie | GMM-Fachberichte ; 92 |