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Combining top-down bottom-up lithographic and galvanic manufacturing techniques for the generation of dynamic and reversible surfaces

Kehagias, N.; Lamprakou, Z.; Guttmann, M.; Winkler, F.; Francone, A.; Fernandez, A.; Chamakos, N. T.; Papathanasiou, A. G.; Sotomayor Torres, C. M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2018
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-3-8007-4789-4
KITopen-ID: 1000087981
HGF-Programm 49.01.02 (POF III, LK 02)
Erschienen in 7. GMM-Workshop : Mikro-Nano-Integration, Dortmund, Germany, 22. - 23. Oktober 2018
Verlag VDE Verlag, Berlin
Seiten 58-61
Serie GMM-Fachberichte ; 92
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