Combining top-down bottom-up lithographic and galvanic manufacturing techniques for the generation of dynamic and reversible surfaces

Kehagias, N.; Lamprakou, Z.; Guttmann, M.; Winkler, F.; Francone, A.; Fernandez, A.; Chamakos, N. T.; Papathanasiou, A. G.; Sotomayor Torres, C. M.

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seit 01.12.2018

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2018
Sprache	Englisch
Identifikator	ISBN: 978-3-8007-4789-4 KITopen-ID: 1000087981
HGF-Programm	49.01.02 (POF III, LK 02) IMT-KNMF Structuring Lab
Erschienen in	7. GMM-Workshop : Mikro-Nano-Integration, Dortmund, Germany, 22. - 23. Oktober 2018
Verlag	VDE Verlag
Seiten	58-61
Serie	GMM-Fachberichte ; 92