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Low temperature electroplating for highly conformal x-ray phase contrast gratings

Amberger, Maximilian

Abstract:
Die Röntgen-Phasenkontrastbildgebung gilt als vielversprechender Zweig
der medizinischen Bildgebung, der hohe Auflösung mit hervorragendem
Weichgewebekontrast kombiniert. Die dafür notwendigen Röntgengitter
gehen an die Grenze dessen, was derzeit als Aspektverhältnis und lateraler
Auflösung durch das LIGA Verfahren hergestellt werden kann. Diese fragilen
Resiststrukturen stellen aber neue Anforderungen an die Galvanik.
Das thermische Budget der noch nicht metallisierten Strukturen ist sehr gering,
so dass ein neues Gold Galvanikbad für eine noch präzisere Fertigung
notwendig wird.
Dazu wird ein neues Sulfit- basiertes Gold-Galvanikbad entwickelt, das bei
einer Temperatur von 30 C betrieben wird. ... mehr

Abstract (englisch):
X-ray phase contrast imaging is seen as a very promising new approach in
medical imaging, combining high spatial resolution with high soft tissue
contrast. This method applies x-ray gratings that are produced in a way
that both aspect ratio and lateral resolution are at the border of what can be
achieved today with x-ray lithography. These highly fragile resist structures
then define new requirements to the electroplating environment. Especially
the thermal budget of the not metalized structures is exceptionally low, so a
new kind of gold electroplating bath was necessary for a more precise fabrication
of gratings.
In the wake of this thesis, a new, sulfite based gold electroplating bath is
developed which can be operated at a temperature of 30 C. ... mehr

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Volltext §
DOI: 10.5445/IR/1000088230
Veröffentlicht am 06.12.2018
Coverbild
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2018
Sprache Englisch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-882304
KITopen-ID: 1000088230
Verlag KIT, Karlsruhe
Umfang VIII, 136 S.
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdatum 09.01.2018
Referent/Betreuer Prof. J. Korvink
Schlagworte LIGA, x-ray, Phase
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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