Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Hochschulschrift |
Publikationsjahr | 2018 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000088901 |
Verlag | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
Umfang | xi, 206 S. |
Art der Arbeit | Dissertation |
Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Prüfungsdatum | 19.11.2018 |
Referent/Betreuer | Guber, A. |