Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Jahr | 2019 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1094-4087 urn:nbn:de:swb:90-892067 KITopen-ID: 1000089206 |
HGF-Programm | 43.23.02 (POF III, LK 01) |
Erschienen in | Optics express |
Band | 27 |
Heft | 1 |
Seiten | 185-195 |
Vorab online veröffentlicht am | 03.01.2019 |
Schlagworte | Proposal-Nummer: 2017-017-017049 Technologien: EBL, XRL |
Nachgewiesen in | Web of Science Scopus |