Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 12.2018 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1094-4087 KITopen-ID: 1000089281 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Optics express |
Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
Band | 26 |
Heft | 26 |
Seiten | Art.-Nr.: 34274 |
Vorab online veröffentlicht am | 18.12.2018 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |