Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 12.2018 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1862-6300 KITopen-ID: 1000089341 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Physica status solidi / A |
Verlag | John Wiley and Sons |
Band | 215 |
Heft | 24 |
Seiten | Art.-Nr.: 1800699 |
Vorab online veröffentlicht am | 25.10.2018 |
Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |
Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |