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MEMS Fabry–Pérot Interferometers With Double Membrane Mirrors for Improved Mirror Parallelism

Huber, Christian; Liu, Pengfei; Krammer, Christoph; Stein, Benedikt; Kalt, Heinz



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/JMEMS.2018.2852839
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Zitationen: 3
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Zitationen: 3
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Zitationen: 5
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Physik (APH)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr 10.2018
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1057-7157, 1941-0158
KITopen-ID: 1000089804
Erschienen in Journal of microelectromechanical systems
Verlag IEEE Electron Devices Society
Band 27
Heft 5
Seiten 836–843
Vorab online veröffentlicht am 23.07.2018
Nachgewiesen in Web of Science
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