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MEMS Fabry–Pérot Interferometers With Double Membrane Mirrors for Improved Mirror Parallelism

Huber, Christian; Liu, Pengfei 1; Krammer, Christoph; Stein, Benedikt; Kalt, Heinz 1
1 Institut für Angewandte Physik (APH), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/JMEMS.2018.2852839
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Zitationen: 5
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Zitationen: 6
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Physik (APH)
Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen)
Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr 10.2018
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1057-7157, 1941-0158
KITopen-ID: 1000089804
Erschienen in Journal of microelectromechanical systems
Verlag IEEE Electron Devices Society
Band 27
Heft 5
Seiten 836–843
Vorab online veröffentlicht am 23.07.2018
Nachgewiesen in Scopus
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