Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 10.2018 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1057-7157, 1941-0158 KITopen-ID: 1000089804 |
Erschienen in | Journal of microelectromechanical systems |
Verlag | IEEE Electron Devices Society |
Band | 27 |
Heft | 5 |
Seiten | 836–843 |
Vorab online veröffentlicht am | 23.07.2018 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |