MEMS Fabry–Pérot Interferometers With Double Membrane Mirrors for Improved Mirror Parallelism
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 10.2018 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1057-7157, 1941-0158 KITopen-ID: 1000089804 |
| Erschienen in | Journal of microelectromechanical systems |
| Verlag | IEEE Electron Devices Society |
| Band | 27 |
| Heft | 5 |
| Seiten | 836–843 |
| Vorab online veröffentlicht am | 23.07.2018 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |