Enabling Large-Area Selective Deposition on Metal-Dielectric Patterns using Polymer Brush Deactivation

Cummins, Cian; Weingärtner, Tobias

¹; Morris, Michael A.
¹ Karlsruher Institut für Technologie (KIT)

Postprint

DOI: 10.5445/IR/1000090317

Veröffentlicht am 02.01.2023

Originalveröffentlichung
DOI: 10.1021/acs.jpcc.8b04092

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr	07.2018
Sprache	Englisch
Identifikator	ISSN: 1932-7447, 1932-7455 KITopen-ID: 1000090317
HGF-Programm	49.02.02 (POF III, LK 02) AES
Erschienen in	The journal of physical chemistry <Washington, DC> / C
Verlag	American Chemical Society (ACS)
Band	122
Heft	26
Seiten	14698–14705
Vorab online veröffentlicht am	11.06.2018
Nachgewiesen in	Dimensions Web of Science Scopus