Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Bio- und Lebensmitteltechnik (BLT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2019 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1369-8001, 1873-4081 KITopen-ID: 1000090338 |
Erschienen in | Materials science in semiconductor processing |
Verlag | Elsevier |
Band | 93 |
Seiten | 21-27 |
Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions |