| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2018 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-87480-349-6 KITopen-ID: 1000090417 |
| HGF-Programm | 37.03.02 (POF III, LK 01) Components and Process Development |
| Erschienen in | Jahrbuch Oberflächentechnik 2018. Hrsg.: T. Sörgel |
| Auflage | 1. Aufl. |
| Verlag | Eugen G. Leuze Verlag |
| Serie | 74 |