Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsmonat/-jahr | 01.2019 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-5106-2753-6 KITopen-ID: 1000090462 |
HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
Erschienen in | 5th SMEOS 2018. Conference on Sensors, MEMS, and Electro-Optic Systems, Skukuza, ZA, October 8-10, 2018 |
Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
Seiten | 19 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |