Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 06.2018 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2330-4022, 2330-4022 KITopen-ID: 1000090743 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | ACS photonics |
Verlag | American Chemical Society (ACS) |
Band | 5 |
Heft | 6 |
Seiten | 2365–2373 |
Vorab online veröffentlicht am | 07.04.2018 |
Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |