Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2019 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2378-0967 urn:nbn:de:swb:90-908164 KITopen-ID: 1000090816 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | APL photonics |
Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
Band | 4 |
Heft | 1 |
Seiten | 010801 |
Vorab online veröffentlicht am | 15.01.2019 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions OpenAlex Web of Science |
Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |