Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Algebra und Geometrie (IAG) Institut für Angewandte und Numerische Mathematik (IANM) Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 06.2018 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1084-7529, 1520-8532 KITopen-ID: 1000090928 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Journal of the Optical Society of America / A |
Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
Band | 35 |
Heft | 6 |
Seiten | 1063-1073 |
Vorab online veröffentlicht am | 01.06.2018 |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |