Synthesis, dielectric properties and application in a thin film transistor device of amorphous aluminum oxide AlxOy using a molecular based precursor route
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Energiespeichersysteme (IAM-ESS) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2019 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2050-7526, 2050-7534 KITopen-ID: 1000091072 |
| Erschienen in | Journal of materials chemistry / C |
| Verlag | Royal Society of Chemistry (RSC) |
| Band | 7 |
| Heft | 4 |
| Seiten | 1048-1056 |
| Vorab online veröffentlicht am | 10.01.2019 |
| Schlagwörter | 2017-019-020670 XPS |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Dimensions Scopus Web of Science |