Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2019 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2475-9953 KITopen-ID: 1000091139 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Physical review materials |
Verlag | American Physical Society (APS) |
Band | 3 |
Heft | 1 |
Seiten | Art.Nr. 015204 |
Vorab online veröffentlicht am | 28.01.2019 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |