Micromechanical tunable Fabry-Pérot interferometers with membrane Bragg mirrors based on silicon/silicon carbonitride
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 2019 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-918706 KITopen-ID: 1000091870 |
| Verlag | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
| Umfang | IV, 200 S. |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Physik (PHYSIK) |
| Institut | Institut für Angewandte Physik (APH) |
| Prüfungsdatum | 18.01.2019 |
| Schlagwörter | MEMS; Fabry-Pérot interferometer; FPI; Spectroscopy |
| Referent/Betreuer | Kalt, H. |