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Micromechanical tunable Fabry-Pérot interferometers with membrane Bragg mirrors based on silicon/silicon carbonitride

Huber, Christian


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/1000091870
Veröffentlicht am 12.03.2019
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Physik (APH)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 2019
Sprache Englisch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-918706
KITopen-ID: 1000091870
Verlag Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
Umfang IV, 200 S.
Art der Arbeit Dissertation
Fakultät Fakultät für Physik (PHYSIK)
Institut Institut für Angewandte Physik (APH)
Prüfungsdatum 18.01.2019
Schlagwörter MEMS; Fabry-Pérot interferometer; FPI; Spectroscopy
Referent/Betreuer Kalt, H.
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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