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Micromechanical tunable Fabry-Pérot interferometers with membrane Bragg mirrors based on silicon/silicon carbonitride

Huber, Christian

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Volltext §
DOI: 10.5445/IR/1000091870
Veröffentlicht am 12.03.2019
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Physik (APH)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2019
Sprache Englisch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-918706
KITopen-ID: 1000091870
Verlag KIT, Karlsruhe
Umfang IV, 200 S.
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Physik (PHYSIK)
Institut Institut für Angewandte Physik (APH)
Prüfungsdatum 18.01.2019
Referent/Betreuer Prof. H. Kalt
Schlagworte MEMS; Fabry-Pérot interferometer; FPI; Spectroscopy
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