The effect of a lithium niobate heating on the etching rate in SF₆ ICP plasma
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2019 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2053-1591 KITopen-ID: 1000092759 |
| HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
| Erschienen in | Materials Research Express |
| Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
| Band | 6 |
| Heft | 4 |
| Seiten | Article: 046306 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |